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聚光科技半导体ICP-MS实现出售 周详组织半导体详细检测

发布日期:2022-01-07 06:40    点击次数:167

  聚光科技(300203)日前在投资者互动平台外示,公司的半导体专用ICP-MS已实现出售,同时片面产品(科学仪器)正在集成电路制造头部企业测试中,尚未正式签定相符同;公司研发的ICP-MS等高端质谱仪属于美国商务部对实体名单企业进走出口约束的设备。

  原料表现,聚光科技于2015年分拆自己质谱营业成立子公司谱育科技,谱育科技已掌握多个质谱分析技术平台,针对半导体走业检测需要,推出一系列高精度检测仪器及在线监测编制,助力走业突破“卡脖子”关键技术。

  组织半导体全产业链详细检测

  半导体产品制造过程分为晶圆添工、氧化、光刻、刻蚀等八大步骤,涉及硅片、电子气体、光掩模、光刻胶配套化学品等多类制造原料。统计数据表现,半导体元件制造业中约50%的产率亏损是由产品及原料制造流程中的微量杂质污浊导致。

  ITRS(国际半导体技术线路图)挑出,在超纯水、电子化学品、电子特气、晶圆制造环境等各个环节,均需进走厉格的环境污浊管控及污浊物检测;如何将污浊降矮到最幼是半导体制程过程升迁良率的难点。半导体器件生产过程中涉及的化学品栽类众多、测试元素栽类多多且检测精度请求ppt量级,都对设备性能及操作人员的污浊限制技术挑出苛刻请求。另外,随着半导体器件的尺寸一连缩短、芯片中元件的密度一连增补,生产过程中的污浊限制也愈发厉格。

  据介绍,ICP-MS技术尤其四极杆型ICP-MS技术具备极矮的检测限和迅速多元素测定功能,已逐渐成为半导体走业污浊分析实验室的标准技术,在硅片外观杂质分析、超纯水、超纯试剂分析、高纯气体分析等多个方面行使普及。现在,半导体走业所行使的ICP-MS基本被美国及日本厂商垄断。

  公开原料表现,谱育科技深耕高端科学仪器创新,在高端质谱周围积累了离子阱、四极杆、三重四极杆、飞走时间等多个质谱分析技术平台。公司已竖立半导体雪白实验室(100级),在2021年相继推出了冷模式ICPMS以及三重四极杆ICPMS/MS,两款设备能够实现亚ppt级别的超痕量金属检测,打破了海外厂商对超痕量金属测试设备的垄断。此外,公司针对14nm、28nm等高端制程半导体企业开发的实时监测编制得到了各级集成电路基金的声援,其中一片面产品已经完善研发,处于样板点竖立阶段。

  基于谱育科技的研发实力,聚光科技于2020年成立半导体事业部,整相符自己质谱、光谱、色谱等高详细检测分析技术,以及各类进样技术和柔件算法等综相符能力,推出一系列解决方案,遮盖了痕量/超痕量金属污浊检测、雪白室AMC在线监测、蚀刻剂近红外分析、特气监测与预警等半导体全产业链详细检测分析周围。

  半导体设备国产化窗口期

  据晓畅,半导体设备的产品研发及商业化流程分为可走性钻研、产品开发及下线、客户端认证、量产及生命周期维护四个阶段。在客户端认证阶段,设备商需始末详细生产场景的技术验证,并与客户赓续疏导、完善技术细节,之后设备供答商才会被纳入客户的相符格供答商名单,整个验证周期消耗时间平均在1年以上。较长的生产及验证周期,也决定了半导体设备周围具有较强的客户粘性,非需要情况下,下游客户不会容易更改产线设备。

  现在,吾国半导体走业配套的高端分析仪器市场永远被赛默飞、安捷伦、丹纳赫等美国厂商所垄断。数据表现,2020年中国质谱仪进口金额15.27亿元,占国内市场周围80%旁边。

  11月25日,美国商务部公告将12家中国企业添入实体清单,其中涉及半导体营业的企业有7家,包括国科微(300672)、新华三半导体等。据晓畅,被列入实体清单的企业未经美国商务部允诺,不得自美国进口原原料及生产设备、无法行使美国研发收获或技术进走生产。中信证券分析称,此事件逆映了芯片制造所需的设备、原料等多个细分周围仍存在“卡脖子”环节。走业偏重程度升迁,将倒逼半导体供答链本土化进程添速。

  SIA数据表现,2021年9月中国半导体出售额167.2亿美元,同比添长24.3%,不息22个月同比正添长,添幅隐微高于全球程度,全球市场占比达35.36%。据国泰君守纪析,走业高景气的同时,产能赓续主要,中芯国际等龙头厂商纷纷添大资本支付启动新一轮扩产。在科技摩擦的背景下,国产设备导入机会升迁,走业有看实现国产化产线整相符。



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